上海集迦電子科技有限公司致力于泛半導體行業(yè)高端傳感器，量測系統(tǒng)的研發(fā)和制造，
提供領先的熒光式光纖溫度傳感器、In-situ晶圓量測傳感器(振動、水平度、位置、濕度、溫度等多物理量)、其他物理量測試方案。
公司具有雄厚的科研和制造實力，擁有多位資深的專家和經驗豐富的傳感器研發(fā)團隊。
晶圓原位溫度及其他物理量傳感器是現代集成電路設備和芯片生產制程中必要的檢測工具，廣泛用于工藝腔體類設備的調試、芯片制造工藝驗證等，是提高晶圓良率和產量的利器。
其應用場景覆蓋光刻、干刻、薄膜沉積、離子注入、清洗、封測等先進制程和工藝。晶圓傳感器具有獨特的設計和可客制化制造的特點。

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